接触式変位センサ(デジタルゲージ)『DT12/ DT512/DT32シリーズ』

レーザ変位センサ『MH11』

サンプリング周期10μs、最小分解能0.01μmを実現。 46機種のセンサヘッドで様々なアプリケーションに対応します。 コントローラの、オープンネットワークCC-Link IE、iQ Sensor Solution（iQSS）対応により、当社FA製品との高い親和性を持ち備えています。 ●業界最高クラスの測定精度と品揃えのセンサヘッド 　サンプリング周期10μs、最小分解能0.01μmを実現しました。 　46機種のセンサヘッドで様々なアプリケーションに対応します。 ●業界最高クラスの高速・高精度測定を実現したコントロールユニット 　高速システムバス通信が可能となり、高速性が求められる制御にも対応しました。 　センサヘッドからシーケンサCPUへ測定精度を落とすことなく、高速・高精度なフィードバック制御を実現します。 ●三菱電機シーケンサとの親和性を追求したコントローラ 　CC-Link IEフィールドネットワーク Basicインタフェース機能を搭載しているため、e-F@ctory情報連携を強化します。 　iQSS対応により、プログラムレスでコントローラの情報を簡単に取得し、設定変更も容易に行えます。

精密薄型アライメントステージ 自動 一体型XYθステージ 『モンブランシリーズ』

全高を低くした一体型XYθの3軸アライメントステージで、小型液晶パネルのアライメント、評価、接合以外に電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適です。 【製品ラインアップ】 ●自動XYθステージ『YRAシリーズ』

セーフティレーザスキャナ『UAM-05LP-T301/T301C』

防護領域5m、270°の範囲を自由なエリア設定で検出するセーフティレーザスキャナ。 小型、高機能と使いやすさの両方を兼ね備え、AGV（無人搬送台車）、ロボット、機械などへの安全対策で工場や物流の効率化、稼働率の向上が可能。 防護柵、ライトカーテンやマットスイッチの置換えに最適な安全規格認証機器です。 ●広範囲な防護エリアで安全性を実現 　・レーザ光を2次元で水平スキャニングを行います。 　・ 防護エリア5m、警告領域20mの検出エリアは国内屈指のスペック。 ●自由なエリアを簡単設定 　・PCに接続することで検出したいエリアを自由に作成することが可能。 　・直感的な操作の専用アプリケーションソフトでエリア設定や各種設定を簡単に出来ます。 　・検出物体をモニタリングしながら作成が可能です。 ●マスタ/スレーブで4台を1台で制御 　・AGVなど4方向にセンサを使用する場合、4台のセンサを相互接続して1台をマスタ、残りをスレーブに設定することでマスタ入出力だけで制御が可能。 ●周囲の環境データを出力、AGVの自動運転に応用可能 　・Ethernetケーブルからセンサで測定した270°分の距離データと入出力状態を出力。 　・AGV（無人搬送台車）に使用時に周囲の環境を認識して自律走行（ガイドレス走行）に応用できます。　

接触式変位センサ(USBデジタルゲージ)『DS800Sシリーズ』

パソコンのUSBポートに直接接続するだけで、外部電源やインターフェイスユニットの追加無しで動作可能なUSBデジタルゲージです。 USBハブ経由で複数軸でも同時使用できます。 簡単に使える専用の計測アプリや通信ソフトウェア (無償)もご用意しています。 Φ8mｍのスリムボディで最高分解能 0.1 µm、精度 1 µmを達成、 耐久性の高いメカ構造の採用により摺動回数3億2千万回以上を実現しました。

接触式変位センサ(デジタルゲージ)『 DF800S/DK800Sシリーズ』

デジタルゲージDF800S、DK800Sシリーズは、磁気検出方式ならではの耐環境性・耐衝撃性・耐振性はそのままに、高分解能と高精度、独自機構による摺動安定性と長寿命を実現した接触式変位計です。 ●摺動回数2.5億回以上 (振動や衝撃に強いボールスプライン構造) 　ベアリングが多点接触のため、従来品と比較して、耐ラジアル荷重が約５倍、回転方向への遊びもゼロとなり、振動・衝撃に強く、かつ非常に滑らかな摺動を実現しました。 ●高速応答性（1秒間に2,000万回の測定） 　高速サンプリングによる位置検出を行なっているため、振動や衝撃などで値飛びしません。 ●繰り返し精度±0.1um以下(2σ) 　独自の高精度な逐次演算内挿処理により、分解能0.1um。繰り返し精度±0.1um以下を実現。 ●国際計量標準で校正された測定器 　国際計量標準にトレーサブルな精度検査校正を実施しており、校正証明書を自社で発行します。 ●水や結露に強いマグネスケール原理(IP67対応) 　マグネスケールの検出方式は磁気。原理的に水や油、結露の影響を受けにくく、厳しい環境下でも安定した動作が可能です。完全密閉構造により、IP67規格を越える水中での72時間摺動を達成しています。 ●DF800Sシリーズは、CC-Link「V2」iQssに対応しております(ファンクションブロックもご用意しています)。

測域センサ『UTM-30LX(-EW)』

距離30m、270°の範囲をデータ出力するレーザスキャナ(LiDAR)。 マルチエコー対応で雨、霧などの分離が可能、ロボットなどの環境認識（SLAM）用途、各種計測に。 インターフェースはイーサネット対応。ROS対応。

測域センサ『URM-40LC-EW』

距離40m、270°の範囲を計測する屋外用レーザスキャナ(LiDAR)。 エリア設定タイプとデータ出力タイプを切替可能。 マルチエコー対応で雨、霧などの分離又はフィルタが可能、 光学窓の汚れ検知機能もあり屋外での環境認識（SLAM）、各種屋外計測、障害物検知がこれ一台で。 ROS対応。

測域センサ『USTシリーズ』

測域センサとは、光をスキャニングしながら検出物までの距離を測定する 二次元走査型の光距離センサで、270°の範囲を計測する屋外用レーザスキャナ(LiDAR)です。 【製品ラインアップ】 【屋外用】 ●UST-30LC/LCN 　マルチエコー対応で雨、霧などの分離又はフィルタが可能、 屋外での環境認識（SLAM）、各種屋外計測、障害物検知がこれ一台で。 ●UST-30LX 　小型、軽量で耐環境性も高く、屋外でも対応可能。 AGV（無人搬送台車）やロボットなどの環境認識（SLAM）用途で工場や物流の効率化、稼働率の向上が可能。 【屋内用】 ●UST-10/20LX 　小型、軽量でAGV（無人搬送台車）やロボットなどの環境認識（SLAM）用途で工場や物流の効率化、 稼働率の向上が可能。 ●UST-10/20LN 　小型、軽量で長距離範囲が検出可能なため大型機械、装置などへの侵入検知用途で工場や物流の効率化、 稼働率の向上が可能。 ●UST-05LN/LA 　小型、軽量でAGV（無人搬送台車）の障害物検知、ロボット、機械などへの侵入検知用途で工場や物流の効率化、 稼働率の向上が可能。ライトカーテンやマットスイッチの置換えに。

超高精度レーザ変位センサ『CDXシリーズ』

初代レーザ変位センサを発売以来、数十年にわたるノウハウを凝縮して得られた、世界屈指の測定精度。 様々なユーザニーズからたどり着いたシンプルな機器構成と、新コンセプト・WEBサーバ搭載による操作性。 超高精度と使いやすさを融合し、レーザ変位センサとしての完成度を究極まで高めました。