豊富な実績とバリエーションを誇るウエハ・液晶搬送用ハンド





エッジクランプ式のWHA・WHFシリーズ、最大25枚を一括搬送できるバッチ型のWHBシリーズ、吸着式のWHK・LCHシリーズなど用途に合わせた多彩なバリエーションを展開しています。
お客様の仕様に合わせた設計・製作を行う特殊対応も可能で、ウエハ以外にもフォトマスクやPLP(Panel Level Package)搬送も対応いたします。
累計販売実績も豊富で、クリーンな環境での搬送作業を強力にサポートする製品群です。
【特徴】
● 用途で選べる豊富なバリエーション(クランプ・バッチ・吸着式)
● 顧客仕様に合わせた柔軟な設計・製作および特殊対応
● 半導体・液晶製造現場における豊富な導入実績
【用途・事例】
● 半導体製造工程におけるウエハの搬送(枚葉・一括)
● 液晶ガラスや自動車用ガラスなどのパネル搬送
● 洗浄工程などの特殊環境下でのワーク搬送









