自動XYステージ(ストローク100mm)

高精度自動XYステージを採用し、様々な検出器が搭載できる測定ユニット

自動XYステージの移動範囲は100㎜×100㎜。 高精度ステージを搭載した測定ユニットです。
ステージ制御をPCで行い測定位置までの移動、駆動プログラムより動作が可能です。
検出器の取付板を大きく設計しあらゆる検出器に対応(スペーサ別途)します。
検出器の上下の微調範囲は25㎜となります。

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