自動XYステージ(ストローク100mm)

高精度自動XYステージを採用し、様々な検出器が搭載できる測定ユニット

自動XYステージ(ストローク100mm)

自動XYステージの移動範囲は100㎜×100㎜。 高精度ステージを搭載した測定ユニットです。
ステージ制御をPCで行い測定位置までの移動、駆動プログラムより動作が可能です。
検出器の取付板を大きく設計しあらゆる検出器に対応(スペーサ別途)します。
検出器の上下の微調範囲は25㎜となります。

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接触式変位センサ(デジタルゲージ)『 DF800S/DK800Sシリーズ』
株式会社マグネスケール

接触式変位センサ(デジタルゲージ)『 DF800S/DK800Sシリーズ』

デジタルゲージDF800S、DK800Sシリーズは、磁気検出方式ならではの耐環境性・耐衝撃性・耐振性はそのままに、高分解能と高精度、独自機構による摺動安定性と長寿命を実現した接触式変位計です。 ●摺動回数2.5億回以上 (振動や衝撃に強いボールスプライン構造)  ベアリングが多点接触のため、従来品と比較して、耐ラジアル荷重が約5倍、回転方向への遊びもゼロとなり、振動・衝撃に強く、かつ非常に滑らかな摺動を実現しました。 ●高速応答性(1秒間に2,000万回の測定)  高速サンプリングによる位置検出を行なっているため、振動や衝撃などで値飛びしません。 ●繰り返し精度±0.1um以下(2σ)  独自の高精度な逐次演算内挿処理により、分解能0.1um。繰り返し精度±0.1um以下を実現。 ●国際計量標準で校正された測定器  国際計量標準にトレーサブルな精度検査校正を実施しており、校正証明書を自社で発行します。 ●水や結露に強いマグネスケール原理(IP67対応)  マグネスケールの検出方式は磁気。原理的に水や油、結露の影響を受けにくく、厳しい環境下でも安定した動作が可能です。完全密閉構造により、IP67規格を越える水中での72時間摺動を達成しています。 ●DF800Sシリーズは、CC-Link「V2」iQssに対応しております(ファンクションブロックもご用意しています)。

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