非接触三次元表面粗さ・形状測定機『Opt-scope』

ナノレベルの表面性状を測定する3D白色干渉顕微鏡

非接触三次元表面粗さ・形状測定機『Opt-scope』

『Opt-scope』は、3D白色干渉顕微鏡Opt-scopeは、レンズ倍率に関わらず垂直方向に一律0.01nmと高分解能、ナノ表面性状を低倍率レンズで測定できるから広範囲を1ショットで高速測定が可能な非接触三次元表面粗さ・形状測定です。
レーザー顕微鏡や他の非接触測定原理では測定が難しいサブナノ表面粗さ、透明体、高アスペクト比構造を高い再現性で測定します。

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