位置決めステージ『モンブランシリーズ』

レーザ変位センサ『MH11』

サンプリング周期10μs、最小分解能0.01μmを実現。 46機種のセンサヘッドで様々なアプリケーションに対応します。 コントローラの、オープンネットワークCC-Link IE、iQ Sensor Solution（iQSS）対応により、当社FA製品との高い親和性を持ち備えています。 ●業界最高クラスの測定精度と品揃えのセンサヘッド 　サンプリング周期10μs、最小分解能0.01μmを実現しました。 　46機種のセンサヘッドで様々なアプリケーションに対応します。 ●業界最高クラスの高速・高精度測定を実現したコントロールユニット 　高速システムバス通信が可能となり、高速性が求められる制御にも対応しました。 　センサヘッドからシーケンサCPUへ測定精度を落とすことなく、高速・高精度なフィードバック制御を実現します。 ●三菱電機シーケンサとの親和性を追求したコントローラ 　CC-Link IEフィールドネットワーク Basicインタフェース機能を搭載しているため、e-F@ctory情報連携を強化します。 　iQSS対応により、プログラムレスでコントローラの情報を簡単に取得し、設定変更も容易に行えます。

精密薄型アライメントステージ 自動 一体型XYθステージ 『モンブランシリーズ』

全高を低くした一体型XYθの3軸アライメントステージで、小型液晶パネルのアライメント、評価、接合以外に電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適です。 【製品ラインアップ】 ●自動XYθステージ『YRAシリーズ』

セーフティレーザスキャナ『UAM-05LP-T301/T301C』

防護領域5m、270°の範囲を自由なエリア設定で検出するセーフティレーザスキャナ。 小型、高機能と使いやすさの両方を兼ね備え、AGV（無人搬送台車）、ロボット、機械などへの安全対策で工場や物流の効率化、稼働率の向上が可能。 防護柵、ライトカーテンやマットスイッチの置換えに最適な安全規格認証機器です。 ●広範囲な防護エリアで安全性を実現 　・レーザ光を2次元で水平スキャニングを行います。 　・ 防護エリア5m、警告領域20mの検出エリアは国内屈指のスペック。 ●自由なエリアを簡単設定 　・PCに接続することで検出したいエリアを自由に作成することが可能。 　・直感的な操作の専用アプリケーションソフトでエリア設定や各種設定を簡単に出来ます。 　・検出物体をモニタリングしながら作成が可能です。 ●マスタ/スレーブで4台を1台で制御 　・AGVなど4方向にセンサを使用する場合、4台のセンサを相互接続して1台をマスタ、残りをスレーブに設定することでマスタ入出力だけで制御が可能。 ●周囲の環境データを出力、AGVの自動運転に応用可能 　・Ethernetケーブルからセンサで測定した270°分の距離データと入出力状態を出力。 　・AGV（無人搬送台車）に使用時に周囲の環境を認識して自律走行（ガイドレス走行）に応用できます。　

接触式変位センサ(USBデジタルゲージ)『DS800Sシリーズ』

パソコンのUSBポートに直接接続するだけで、外部電源やインターフェイスユニットの追加無しで動作可能なUSBデジタルゲージです。 USBハブ経由で複数軸でも同時使用できます。 簡単に使える専用の計測アプリや通信ソフトウェア (無償)もご用意しています。 Φ8mｍのスリムボディで最高分解能 0.1 µm、精度 1 µmを達成、 耐久性の高いメカ構造の採用により摺動回数3億2千万回以上を実現しました。

接触式変位センサ(デジタルゲージ)『 DF800S/DK800Sシリーズ』

デジタルゲージDF800S、DK800Sシリーズは、磁気検出方式ならではの耐環境性・耐衝撃性・耐振性はそのままに、高分解能と高精度、独自機構による摺動安定性と長寿命を実現した接触式変位計です。 ●摺動回数2.5億回以上 (振動や衝撃に強いボールスプライン構造) 　ベアリングが多点接触のため、従来品と比較して、耐ラジアル荷重が約５倍、回転方向への遊びもゼロとなり、振動・衝撃に強く、かつ非常に滑らかな摺動を実現しました。 ●高速応答性（1秒間に2,000万回の測定） 　高速サンプリングによる位置検出を行なっているため、振動や衝撃などで値飛びしません。 ●繰り返し精度±0.1um以下(2σ) 　独自の高精度な逐次演算内挿処理により、分解能0.1um。繰り返し精度±0.1um以下を実現。 ●国際計量標準で校正された測定器 　国際計量標準にトレーサブルな精度検査校正を実施しており、校正証明書を自社で発行します。 ●水や結露に強いマグネスケール原理(IP67対応) 　マグネスケールの検出方式は磁気。原理的に水や油、結露の影響を受けにくく、厳しい環境下でも安定した動作が可能です。完全密閉構造により、IP67規格を越える水中での72時間摺動を達成しています。 ●DF800Sシリーズは、CC-Link「V2」iQssに対応しております(ファンクションブロックもご用意しています)。

接触式変位センサ(デジタルゲージ)『DT12/ DT512/DT32シリーズ』

●組み込みに適した小型サイズのデジタルゲージです。 　組み立て確認などの判定用途から寸法計測まで幅広く対応した汎用モデル。 　コストを抑えつつ幅広いアプリケーションに対応します。 ・耐環境性良好：IP64相当（Pタイプ） ・測定範囲：12mm、３２mm ・最高分解能：1μm、5μｍ ・精度：6μｍ p-p、10μm p-p（測定長、分解能により異なります。） ・Φ8mmステム取付けとM4ネジによる側面取付けに対応 ・油･塵に対して強靭 ・エア供給によりスピンドルを駆動する空気圧押出しタイプもあります。

測域センサ『UTM-30LX(-EW)』

距離30m、270°の範囲をデータ出力するレーザスキャナ(LiDAR)。 マルチエコー対応で雨、霧などの分離が可能、ロボットなどの環境認識（SLAM）用途、各種計測に。 インターフェースはイーサネット対応。ROS対応。

測域センサ『URM-40LC-EW』

距離40m、270°の範囲を計測する屋外用レーザスキャナ(LiDAR)。 エリア設定タイプとデータ出力タイプを切替可能。 マルチエコー対応で雨、霧などの分離又はフィルタが可能、 光学窓の汚れ検知機能もあり屋外での環境認識（SLAM）、各種屋外計測、障害物検知がこれ一台で。 ROS対応。

測域センサ『USTシリーズ』

測域センサとは、光をスキャニングしながら検出物までの距離を測定する 二次元走査型の光距離センサで、270°の範囲を計測する屋外用レーザスキャナ(LiDAR)です。 【製品ラインアップ】 【屋外用】 ●UST-30LC/LCN 　マルチエコー対応で雨、霧などの分離又はフィルタが可能、 屋外での環境認識（SLAM）、各種屋外計測、障害物検知がこれ一台で。 ●UST-30LX 　小型、軽量で耐環境性も高く、屋外でも対応可能。 AGV（無人搬送台車）やロボットなどの環境認識（SLAM）用途で工場や物流の効率化、稼働率の向上が可能。 【屋内用】 ●UST-10/20LX 　小型、軽量でAGV（無人搬送台車）やロボットなどの環境認識（SLAM）用途で工場や物流の効率化、 稼働率の向上が可能。 ●UST-10/20LN 　小型、軽量で長距離範囲が検出可能なため大型機械、装置などへの侵入検知用途で工場や物流の効率化、 稼働率の向上が可能。 ●UST-05LN/LA 　小型、軽量でAGV（無人搬送台車）の障害物検知、ロボット、機械などへの侵入検知用途で工場や物流の効率化、 稼働率の向上が可能。ライトカーテンやマットスイッチの置換えに。