九州エリア　製品一覧：機械部品（2件）

エアスライド・ステージ

剛性や耐摩耗性に優れたアルミナセラミックスを使用した小型のエアスライド。 摺動抵抗が極めて小さく、高精度な位置決めができます。 また、摩擦による発熱が無いため、高速移動が可能。 注油、グリスなどが不要ですので、クリーン＆メンテナンスフリーで永くご使用いただけます。 エアスライド単体でのご注文も承りますので、お気軽にお問い合わせください。

小型ナノステージ『nano-UPシリーズ』

『nano-UP シリーズ』は、高精度フィードバックスケールとピエゾアクチュエータを搭載することで、きわめて高い制御分解能と繰返し精度を実現した小型ナノステージ。 マスクレス露光装置をはじめ、高い位置決め精度が要求されるシステム 装置の開発で培ったノウハウを集約した、いわば集大成ともいえるステージです。 ステッピングモーター（粗動）とピエゾ（微動）の高速切替えにより、ナノオーダーでのスムーズな位置決めを実現。 手のひらに収まる小ささと薄さで、レーザ光軸の調整やレンズの調芯など微細な位置決めが必要とされる装置のステージに最適です。 ラインアップは、1 軸ステージ、θステージ、傾斜ステージの3 種類4 モデルあり、ご使用の用途に応じて自由に組み合わせいただけます。 カスタマイズ等のご相談も承りますので、お気軽にご相談ください。