ナノオーダーでのスムーズな位置決めを実現した小型ナノステージ
『nano-UP シリーズ』は、高精度フィードバックスケールとピエゾアクチュエータを搭載することで、きわめて高い制御分解能と繰返し精度を実現した小型ナノステージ。
マスクレス露光装置をはじめ、高い位置決め精度が要求されるシステム
装置の開発で培ったノウハウを集約した、いわば集大成ともいえるステージです。
ステッピングモーター（粗動）とピエゾ（微動）の高速切替えにより、ナノオーダーでのスムーズな位置決めを実現。
手のひらに収まる小ささと薄さで、レーザ光軸の調整やレンズの調芯など微細な位置決めが必要とされる装置のステージに最適です。
ラインアップは、1 軸ステージ、θステージ、傾斜ステージの3 種類4 モデルあり、ご使用の用途に応じて自由に組み合わせいただけます。
カスタマイズ等のご相談も承りますので、お気軽にご相談ください。