ナノオーダーでのスムーズな位置決めを実現した小型ナノステージ
『nano-UP シリーズ』は、高精度フィードバックスケールとピエゾアクチュエータを搭載することで、
きわめて高い制御分解能と繰返し精度を実現した小型ナノステージ。
マスクレス露光装置をはじめ、高い位置決め精度が要求されるシステム
装置の開発で培ったノウハウを集約した、いわば集大成ともいえるステージです。
ステッピングモーター（粗動）とピエゾ（微動）の高速切替えにより、
ナノオーダーでのスムーズな位置決めを実現。
手のひらに収まる小ささと薄さで、レーザ光軸の調整やレンズの調芯など
微細な位置決めが必要とされる装置のステージに最適です。
ラインアップは、1 軸ステージ、θステージ、傾斜ステージの3 種類4 モデルあり、
ご使用の用途に応じて自由に組み合わせいただけます。
カスタマイズ等のご相談も承りますので、お気軽にご相談ください。