非接触三次元表面粗さ・形状測定機『Opt-scope』カタログ(株式会社東京精密)

３D白色干渉顕微鏡Opt-scopeは、レンズ倍率に関わらず垂直方向に一律0.01nmと高分解能、 ナノ表面性状を低倍率レンズで測定できるから広範囲を１ショットで高速測定が可能です。
レーザー顕微鏡や他の非接触測定原理では測定が難しい サブナノ表面粗さ、透明体、高アスペクト比構造を高い再現性で測定します。