負圧セーフティバルブ『BWF』カタログ（株式会社コスメック）

『負圧セーフティバルブ（BWF）』は、真空搬送システムの安全性を高めるためのセーフティバルブです。
真空搬送中に停電等の非常事態が発生し、1次側の真空発生源が停止しても、チェック弁が閉じることで2次側の負圧を保持します。
これにより、ロボット搬送中や吸着保持中のワークの落下を効果的に防止します。
半導体製造装置やFA・ロボット自動化設備に適した低発塵設計を採用しており、信頼性の高い圧力保持を実現します。

【特徴】
●停電時等の非常時にも2次側の負圧を保持し落下を防止
●半導体プロセスに適したクリーン環境用低発塵グリス採用
●ソフトシール採用による信頼性の高い圧力保持性能

【用途・事例】
●真空搬送を伴う組立・検査工程におけるワーク落下防止
●ロボット搬送システムにおける真空吸着保持のバックアップ
●停電時等の非常時に備えた真空搬送ラインの安全対策