高温真空チャンバー内部監視用カメラ『MLT-KDS230-5MP-HT』カタログ（コタニ株式会社）

『MLT-KDS230-5MP-HT』は、高温真空チャンバー内部監視用カメラです。
台湾大手半導体メーカーの製造プロセス装置に多数の採用実績があり、過酷な環境下での確実な監視をサポートします。
耐熱400℃、耐圧15kg/c㎡までの環境で使用可能であり、特殊仕様のステンレス製耐熱・耐圧ケースを採用しています。
循環冷却系設計は、CDA、冷却水、冷媒液から冷却方式を選択でき、排気や排水は工場の一次側に排出可能です。
フルHD解像度での高画質な映像出力を備え、設置環境や要件に応じたカスタマイズにも柔軟に対応します。

【特徴】
●耐熱400℃および耐圧15kg/c㎡までの過酷な環境への対応
●特殊仕様のステンレス製耐熱・耐圧ケースによる堅牢設計
●CDAや冷却水などから選択可能な循環冷却系システム

【用途・事例】
●半導体製造プロセス装置における高温真空チャンバー内部の監視
●高温および高圧環境下での工業グレードによるモニタリング
●フルHD映像出力による製造ラインの精密な状況確認